李志坚院士1928年5月1日出生于浙江宁波，1947年至1951年在浙江大学物理系学习，获学士学位。1953年至1958年留学苏联列宁格勒大学物理系，获副博士学位。1957年2月加入中国共产党。1958年回国任教于清华大学，为清华大学半导体专业的创立和发展倾注了大量心血。
李志坚是我国硅基半导体科学研究的奠基人和开创者。早在上世纪50年代后期，他就提出了以硅技术为半导体专业的主要研究方向；70年代末，他又提出以CMOS集成微电子学为主要学术方向。这两次学术方向的确立对我国的半导体事业和清华大学微电子学科的成功起步及持续发展有着极为重要的战略意义。
1991年当选中国科学院院士，是中国电子学会荣誉会员，国家科学技术名词委员会委员，中国微纳米技术学会名誉副理事长，《电子学报》、《半导体学报》和《传感技术学报》编委，曾长期担任清华大学微电子学研究所所长、信息学院学术委员会委员、中国半导体行业协会副主任委员等职务。